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衍射光學元件在工作中的應用

時間:2020-11-30 來源:新特光電 訪問量:2382

衍射光學元件(DOE:DiffractiveOpticalElements),是基于光波的衍射理論,利用計算機輔助設計,并通過半導體芯片制造工藝,在基片上(或傳統光學器件表面)刻蝕產生臺階型或連續浮雕結構,形成同軸再現、且具有極高衍射效率的一類光學元件。衍射光學元件薄而輕,體積小,還具有高衍射效率、多設計自由度、良好的熱穩定性和獨特的色散特性,是諸多光學儀器的重要元件。

隨著國內外市場對激光光束變換的迫切需求,基于衍射光學的各類解決方案越來越受到市場的重視,尤其在平頂整形領域,多焦點切割等方面應用擁有核心自主知識產權。不僅如此,諸如分束、勻光、長焦深、渦旋光束、點陣、特征圖形等元件及模塊在各領域也有重要應用。

平頂光整形系統,將高斯光束整形為能量均勻的平頂光束,在太陽能電池板上,開出邊緣整齊的溝槽,一定程度上提高了太陽能電池板的能量轉換效率。并基于此方案,研發出一維平頂光束,在半導體激光退火工藝中,有極大的應用。

多焦點系統的運用當中,成功解決了傳統激光切割方案面對厚材料時的重復加工導致切割效率低下,切割端面不整齊的難題,深受客戶使用者的好評。多焦點切割系統,焦點個數和焦點間距均可根據客戶進行設計定制,極大地豐富了該產品的應用場景。

高斯光束的能量分布方式為中間高邊緣低,在進行加工時,有相當一部分能量不能被有效利用。同時,為了保證加工的均勻性,光斑間的重疊要足夠大,從而影響加工效率的提高。平頂整形元件可將高斯光束轉換為客戶所要求形狀的平頂光束,光斑內能量均勻,從而可以大幅提高加工質量,減小HAZ,提高加工效率。


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