
隨機相位板是一種通過精密微結構產生隨機相位延遲的關鍵光學元件。它能有效破壞激光的相干性,消除有害散斑,并將高斯分布的光束轉換為能量高度均勻的平頂光斑。憑借其高效能、高均勻性和無聚焦的特性,該元件已成為激光加工、光學測量與激光投影顯示等領域中提升系統性能和一致性的核心解決方案,廣泛應用于半導體退火、激光清洗及3D傳感等高端場景。
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隨機相位板可對系統位相進行精確模擬、校正或調制。可產生單階、多階像差位相器件,用于各種光學系統靜態像差校正;也可產生具有特定功率譜的動態隨機波像差等。典型應用為用于矯正人眼高階像差模擬器、大氣湍流位相調制效應像差補償元件及非球面檢測用CGH位相板。
應用領域
激光加工與制造
光學測量與成像
顯示技術
光刻系統
科學研究
